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溫度&濕度控制單元,能有效維持其表面溫度的均一性。經(jīng)過此設備處理后的空氣,溫度控制精度可達目標值±0.01℃,充分滿足制程環(huán)境對溫控的要求。該設備的應用,不僅確保了產(chǎn)線環(huán)境的穩(wěn)定,更為產(chǎn)品的高良率提供了堅實保障。
恒溫恒濕控制機在基板曝光前,能有效維持其表面溫度的均一性。經(jīng)過此設備處理后的空氣,溫度控制精度可達目標值±0.01℃,充分滿足制程環(huán)境對溫控的要求。該設備的應用,不僅確保了產(chǎn)線環(huán)境的穩(wěn)定,更為產(chǎn)品的高良率提供了堅實保障。
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