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PTHC系列低溫液冷機(jī)應(yīng)用于晶圓測(cè)試的高低溫冷熱臺(tái)(晶圓測(cè)試載物臺(tái))chuck的加熱制冷控溫,載冷劑采用硅油或氟化液循環(huán)精確控溫,液冷制冷機(jī)主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。
水冷型冷水機(jī) 給芯片、模塊、集成電路板、電子元器件等提供精確且快速的環(huán)境溫度 替代液氮為局部熱源提供快速降溫 產(chǎn)品電性能、可靠性、老化等測(cè)試提供冷源 需要提供干燥降溫的場(chǎng)合
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